在无定形碳支撑膜1上配置了WO3粒子等的钨氧化物粒子2，在高真空气氛下用强度在1023－1024e／cm2·sec范围的电子束3辐照此钨氧化物粒子2。由于有这样强度的电子束3的辐照，生成了粒径在例如10nm以下的钨超微粒子4。钨超微粒子4是由从钨氧化物粒子2脱离出来的钨所构成。

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